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半導體設備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線(xiàn)性和硬性

來(lái)源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-05-26 15:58

半導體設備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線(xiàn)性和硬性，能限定震幅，防止共振和沖擊共振頻率能夠設計成非常低，甚至低于1Hz，共振頻率通常為5-7Hz。減振效率遠高于其他減振元件，能夠隔離低頻振動(dòng)。作為具有可調節的非線(xiàn)性靜態(tài)剛度和減震特點(diǎn)的減振元件。其特點(diǎn)是力伴隨著(zhù)運動(dòng)速度變化而變化。當導氣彈簧力的作用點(diǎn)移動(dòng)較快時(shí)，彈簧阻力明顯，而作用點(diǎn)移動(dòng)較慢時(shí)，阻力很小。

空氣彈簧一般由奧氏體材料或依據客戶(hù)的要求制造?；钊麠U行程尺寸8mm的余量，尺寸選擇合理，應力適當。選用球形空氣彈簧和鉸鏈式波紋管，應加裝導向支架，防止波紋管失去了穩定性。選用其他方式，補償管道太長(cháng)時(shí)，還應提供導向支撐。補償管道較長(cháng)時(shí)要采用減小磨擦。

空氣彈簧的密封結構設計大多選用結構，兩邊，端面為光滑突面，兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機的影響，能夠保護壓印機不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統的減振原理，確定了剛度及減振系統的共振頻率，并與實(shí)際減振系統的實(shí)驗結果相符合，說(shuō)明印壓光刻機低頻減振設計合理可行。

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