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投影光刻機中空氣彈簧隔振器的穩定性

來(lái)源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-05-17 09:39

空氣彈簧內部因性能以及優(yōu)勢的不同，可分為各種各樣的彈簧。側重不同的空氣彈簧應用的領(lǐng)域不同，在購買(mǎi)和使用時(shí)應當注意區分。就工業(yè)領(lǐng)域而言，低頻空氣彈簧的使用頻率高，并且較普通彈簧而言，有更大優(yōu)勢。憑借著(zhù)低頻技術(shù)，這類(lèi)彈簧更為穩定。

空氣彈簧隔振器并沒(méi)有讓人失望，盡管頻率較低，但穩定性值得信任。這類(lèi)空氣彈簧在工作時(shí)頻率不超過(guò)三赫茲，在頻率如此低的情況下，空氣彈簧能夠完成好工作任務(wù)。同時(shí)，即便應用于性能高的機器，也能有效隔振。投影光刻機中空氣彈簧隔振器無(wú)論是在水平方向還是垂直方向，都能幾乎保持同頻共振，這樣的特性使低頻空氣彈簧穩定性較高。由于頻率較低，投影光刻機中空氣彈簧的使用壽命更長(cháng)，檢修和維修的空間更大，不必頻繁更換。

除能憑借低的頻率完成任務(wù)之外，空氣彈簧隔振器還可自動(dòng)調節水平方向。普通彈簧在震動(dòng)的情況下，易改變水平方向，致使零件無(wú)法完成對接，工作效率低。低頻空氣彈簧則不同，更穩定的工作狀態(tài)讓這一彈簧幾乎不改變水平方向，因此能夠更快接觸到對接的零件。這也是為什么這類(lèi)彈簧頻繁應用于大型的測量?jì)x器的原因。正是憑借著(zhù)自動(dòng)調節方向的功能，該空氣彈簧在保證性能的前提下，還能保證進(jìn)行量測的精度。

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