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空氣彈簧水平放置計算方法

1.本實(shí)用新型專(zhuān)利涉及到減振設備技術(shù)領(lǐng)域，實(shí)際為一種根據三可玩性擺的積極減振基座。

環(huán)境技術(shù)性：

2.現階段，半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢快速，對半導體材料生產(chǎn)設備的精密度規定愈來(lái)愈高，機器設備對微振等自然環(huán)境的需求也愈來(lái)愈比較敏感。稍有微振便會(huì )減少機器設備的生產(chǎn)量。乃至使機器設備沒(méi)法正常的工作中，因而微震動(dòng)的防護越來(lái)越更加關(guān)鍵。

3.彈簧減振器可以立即當做是帶通濾波器。該過(guò)濾器可以合理濾掉其共振頻率以上的自然環(huán)境震動(dòng)影響，但其對共振頻率周邊的震動(dòng)影響的控制實(shí)際效果相對性較低。薄弱，有時(shí)候乃至會(huì )因為共振原理而變大震幅。因而，為了更好地在低頻率下得到更快的系統軟件減振實(shí)際效果，通常選用減少其共振頻率的方式，以防止在一些頻率下造成共震。

4.可是，如何使空氣彈簧能夠更好地防護從基座傳送到負荷的震動(dòng)影響，與此同時(shí)也有著(zhù)更強的精度等級，是一個(gè)必須處理的問(wèn)題。

技術(shù)性執行因素：

5.本產(chǎn)品的目地是給予一種根據三可玩性的擺式積極減振基座，以處理以上環(huán)境技術(shù)性中存在的不足。

6.本產(chǎn)品的技術(shù)要求完成如下所示：

7.一種根據三可玩性的擺式積極減振基座，包含現澆板、支撐點(diǎn)腔、空氣彈簧、活塞桿、軟性擺桿和數據控制板、軟性擺桿聯(lián)接在現澆板下邊，軟性擺桿下方與活塞桿滾動(dòng)聯(lián)接，活塞桿坐落于空氣彈簧頂端，現澆板下邊配有震動(dòng)傳感器，支撐點(diǎn)腔上端配有相位傳感器和音圈電機。

8.此外，現澆板為長(cháng)方型空氣彈簧彈簧減振器水準置放計算方式一種根據三可玩性擺式積極，由5mm不銹鋼板材做成。